金剛砂攪拌器提高金剛砂晶片的切割和研磨質(zhì)量
發(fā)布時間：2022-05-17 16:05:51 瀏覽
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金剛砂攪拌器提高金剛砂晶片的切割和研磨質(zhì)量
金剛砂是晶圓切割和研磨過程中的主要研磨材料，與懸浮劑按比例混合后。金剛砂是否均勻分布在懸浮劑中，將直接影響研磨和切割質(zhì)量。
在晶圓切割和研磨工廠，許多機器經(jīng)常同時工作，以提高效率和產(chǎn)量。目前，在晶圓切割和研磨過程中，操作人員主要是按照操作說明書中的比例要求給每臺切割或研磨機分配金剛砂切割和研磨液，沒有時間讓金剛砂與懸浮液充分融合，金剛砂與懸浮劑的比例是任意的，不能保證切割晶圓的平行度和平滑度；研磨晶片時，不能保證機器的浸沒速度一致。由于金剛砂與助懸劑沒有完全結合，晶圓研磨時容易出現(xiàn)劃痕和條紋，金剛砂容易沉淀，使得助懸劑中金剛砂的比例在沉沒和切割過程中發(fā)生變化，影響產(chǎn)品質(zhì)量，造成金剛砂的浪費
為解決上述不足，提出一種金剛砂攪拌器，具有一側壁下方設置有水籠頭的桶體，其特征在于：桶體上方設置有電機，電機下方聯(lián)接伸入桶體內(nèi)的攪拌軸，攪拌軸下方連接攪拌框。
攪拌架的平面與攪拌軸軸向平行。
攪拌架內(nèi)設有多個攪拌棒。
攪拌棒與攪拌軸軸向平行。
該金剛砂攪拌器能為多臺切割和研磨設備提供混合均勻的、比例一致的金剛砂懸浮溶，保證金剛砂的不沉淀，提高了晶片的切割和研磨質(zhì)量。
